在電鏡電極真空系統(tǒng)中，需要經(jīng)常檢查機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵和油擴(kuò)散泵的油面，一旦發(fā)現(xiàn)油面下降應(yīng)及時(shí)加油。旋轉(zhuǎn)泵若缺油不僅會(huì)磨壞軸套上的油封圈，而且對(duì)旋片端頭和內(nèi)腔壁也可能會(huì)造成*性的損傷，使極限真空度下降。用真空計(jì)檢查真空度是必要的，但是隨著真空系統(tǒng)的自動(dòng)化，有的電鏡為了降低成本，把某些真空計(jì)也省略掉了。為了提高真空系統(tǒng)的可靠性，延長(zhǎng)各部件的使用壽命，對(duì)以下各點(diǎn)多加留意，以便能及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況，隨時(shí)做好維護(hù)和保養(yǎng)的措施。